<기술 개요>

실리콘 관통 전극 및 이를 포함하는 MEMS 디바이스에 관한 것으로 실리콘 관통 전극온, 고온 및 화학적 프로세스에 대한 내구성이 요구되는 MEMS 기반 디바이스에 적용 가능한 기술

자세한 내용은 [첨부] 기술자료 참조