기술개요

본 기술은 질화물계 발광다이오드 제조방법에 관한 것으로, 산화아연 나노구조의 밀도를 높일수 있는 TCO(transparent conductive oxide)층을 제작하고, TCO층의 아연 조성비를 제어하여 표면으로 갈수록아연의 농도를 높여 고밀도의 산화아연 나노구조를 성장할 수 있도록 하는 기술임

자세한 내용은 [첨부] 기술자료 참조