실리콘 관통 전극 및 이를 포함하는 MEMS 기반 디바이스
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<기술 개요>
실리콘 관통 전극 및 이를 포함하는 MEMS 디바이스에 관한 것으로 실리콘 관통 전극온, 고온 및 화학적 프로세스에 대한 내구성이 요구되는 MEMS 기반 디바이스에 적용 가능한 기술
자세한 내용은 [첨부] 기술자료 참조
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<기술 개요>
실리콘 관통 전극 및 이를 포함하는 MEMS 디바이스에 관한 것으로 실리콘 관통 전극온, 고온 및 화학적 프로세스에 대한 내구성이 요구되는 MEMS 기반 디바이스에 적용 가능한 기술
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