우수기술 소개

미세채널 제조 방법

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Myoung Chan Ahn2017.01.18

기술개요

본 기술은 포토리소그래피 공정 시 인위적인 크랙을 발생시켜서 미세채널을 제조할 수 있는 미세채널 제조방법 및 이에 의하여 제조된 미세채널을 구비하는 미세채널블록에 관한 기술임

자세한 내용은 [첨부] 기술자료 참조